Composition de résine photosensible positive, film durci obtenu par durcissement de cette composition ainsi que dispositif optique mettant en oeuvre ce film

Positive photosensitive resin composition, cured film formed by curing same, and optical device equipped with same

ポジ型感光性樹脂組成物、それを硬化させてなる硬化膜およびそれを具備する光学デバイス

Abstract

L'invention concerne le développement d'une composition de résine photosensible positive qui, sans perdre ses caractéristiques d'indice de réfraction et de grande transparence, possède une grande sensibilité en exposition lithographique, même après une longue conservation à température ambiante, et présente d'excellentes caractéristiques de résolution après formation de motifs et de résistance aux solvants. Cette composition de résine photosensible positive se caractérise en ce qu'elle contient: un polysiloxane élaboré par hydrolyse puis condensation partielle d'un organosilane spécifique et d'un organosilane possédant un groupe carboxyle et/ou une structure anhydre d'acide dicarboxylique; (d) au moins une particule de composé métallique choisi dans le groupe comprenant un composé aluminium, un composé étain, un composé titane et un composé zirconium, ou au moins une particule composite d'un composé de silicium et d'un composé métallique choisi dans le groupe comprenant un composé aluminium, un composé étain, un composé titane et un composé zirconium; (b) un composé naphthoquinone diazide; et (c) un solvant.
高屈折率、高透明性の特性を損なうことなく、室温における長期保管後も露光において高い感度を有し、パターン形成後の解像性、耐溶剤性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を開発する。 本発明は、特定のオルガノシランとカルボキシル基および/またはジカルボン酸無水物構造を有するオルガノシランとを加水分解し、部分縮合させることによって合成されるポリシロキサン、(d)アルミニウム化合物、スズ化合物、チタン化合物およびジルコニウム化合物から選ばれる1以上の金属化合物の粒子、またはアルミニウム化合物、スズ化合物、チタン化合物およびジルコニウム化合物から選ばれる1以上の金属化合物とケイ素化合物との複合粒子、(b)ナフトキノンジアジド化合物ならびに(c)溶剤を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物である。
The purpose of the present invention is to develop a positive photosensitive resin composition which, without compromising high refractive index and high transparency characteristics, has excellent solvent resistance and resolution after pattern formation, and has high sensitivity to exposure, even after long-term storage at room temperature. This positive photosensitive resin composition is characterised by containing: a polysiloxane synthesised by hydrolysing and partially condensing a specific organosilane and an organosilane that has a carboxyl group and/or a dicarboxylic acid anhydride structure; (d) particles of one or more metal compounds selected from an aluminium compound, a tin compound, a titanium compound, and a zirconium compound, or composite particles of a silicon compound and one or more metal compounds selected from an aluminium compound, a tin compound, a titanium compound, and a zirconium compound; (b) a naphthoquinone diazide compound; and (c) a solvent.

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