Defect repairing device, defect repairing method, program and computer readable recording medium


dispositif de réparation de défaut, procédé de réparation de défaut, programme et support d'enregistrement lisible par ordinateur


L'invention concerne un dispositif (1) de réparation de défaut susceptible de réparer des défauts efficacement comprenant un montage (3) de substrat pour fixer un substrat transporté, une pluralité d'unités (11) d'éjection de gouttelettes disposées le long d'une direction différente de la direction de transport du substrat vues depuis une direction perpendiculaire au substrat fixé par le montage (3) de substrat et éjectant des gouttelettes sur des défauts décelés sur le substrat, une unité de portique de tête (7) montant la pluralité d'unités (11) d'éjection de gouttelettes, et un mécanisme de glissement (4) de portique pour déplacer l'unité de portique de tête (7) le long de la direction de transport du substrat à une vitesse constante, chaque unité (11) d'éjection de gouttelettes se déplaçant indépendamment des autres le long d'une direction différente de la direction de transport selon des données indiquant les positions d'une pluralité de défauts décelés sur le substrat tandis que l'unité de portique de tête (7) se déplace le long de la direction de transport du substrat.
A defect repairing device (1) capable of repairing defects efficiently comprises a substrate mount (3) for securing a conveyed substrate, a plurality of droplet ejection units (11) disposed along a direction different from the conveyance direction of the substrate when viewed from a direction perpendicular to the substrate secured by the substrate mount (3) and ejecting droplets to defects spotted on the substrate, a head gantry unit (7) mounting the plurality of droplet ejection units (11), and a gantry slide mechanism (4) for moving the head gantry unit (7) relatively along the conveyance direction of substrate at a constant speed, wherein each droplet ejection unit (11) moves independently of each other along a direction different from the conveyance direction depending on data indicative of the positions of a plurality of defects spotted on the substrate while the head gantry unit (7) is moving along the conveyance direction of substrate.




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