Defect repairing device, defect repairing method, program and computer readable recording medium

欠陥修復装置、欠陥修復方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体

dispositif de réparation de défaut, procédé de réparation de défaut, programme et support d'enregistrement lisible par ordinateur

Abstract

L'invention concerne un dispositif (1) de réparation de défaut susceptible de réparer des défauts efficacement comprenant un montage (3) de substrat pour fixer un substrat transporté, une pluralité d'unités (11) d'éjection de gouttelettes disposées le long d'une direction différente de la direction de transport du substrat vues depuis une direction perpendiculaire au substrat fixé par le montage (3) de substrat et éjectant des gouttelettes sur des défauts décelés sur le substrat, une unité de portique de tête (7) montant la pluralité d'unités (11) d'éjection de gouttelettes, et un mécanisme de glissement (4) de portique pour déplacer l'unité de portique de tête (7) le long de la direction de transport du substrat à une vitesse constante, chaque unité (11) d'éjection de gouttelettes se déplaçant indépendamment des autres le long d'une direction différente de la direction de transport selon des données indiquant les positions d'une pluralité de défauts décelés sur le substrat tandis que l'unité de portique de tête (7) se déplace le long de la direction de transport du substrat.
欠陥を効率よく修復することができる欠陥修復装置(1)は、搬送された基板を固定する基板載置台(3)と、基板載置台(3)によって固定された基板に垂直な方向から見て、基板の搬送方向と異なる方向に沿って配置されて、基板上に点在する欠陥に液滴を吐出する複数個の液滴吐出ユニット(11)と、複数個の液滴吐出ユニット(11)を搭載したヘッドガントリーユニット(7)と、ヘッドガントリーユニット(7)を基板の搬送方向に沿って相対的に等速移動させるガントリースライド機構(4)とを備え、各液滴吐出ユニット(11)は、基板上に点在する複数個の欠陥の位置を表すデータに応じて、ヘッドガントリーユニット(7)が基板の搬送方向に沿って移動している間、搬送方向と異なる方向に沿って互いに独立して移動する。
A defect repairing device (1) capable of repairing defects efficiently comprises a substrate mount (3) for securing a conveyed substrate, a plurality of droplet ejection units (11) disposed along a direction different from the conveyance direction of the substrate when viewed from a direction perpendicular to the substrate secured by the substrate mount (3) and ejecting droplets to defects spotted on the substrate, a head gantry unit (7) mounting the plurality of droplet ejection units (11), and a gantry slide mechanism (4) for moving the head gantry unit (7) relatively along the conveyance direction of substrate at a constant speed, wherein each droplet ejection unit (11) moves independently of each other along a direction different from the conveyance direction depending on data indicative of the positions of a plurality of defects spotted on the substrate while the head gantry unit (7) is moving along the conveyance direction of substrate.

Claims

Description

Topics

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